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微波等離子體是一種通過微波電磁場激發與維持的等離子體。微波等離子體與電暈放電等離子體、介質阻擋放電等離子體相比，具有無電極、氣體溫度高（103 °C）、電子密度大、易于形成大體積（104 cm3）炬狀等離子體等優點[1,2] 具有豐富的高能態粒子和活性自由基。其基本特性如圖1、2所示。
微波等離子體原理：微波電源為磁控管供電，由磁控管產生2.45 GHz微波，微波進入漸變型矩形波導諧振腔，在腔內形成穩定的駐波狀態，石英管中心恰位于駐波波峰的高電場場強區域；在靠近石英放電管側波導較薄，以提升石英放電管附近微波能量傳輸密度，從而增強石英管中心位置電場強度，減小微波等離子體激發難度[1,2]。大氣壓微波等離子體模塊化裝置如圖3所示。
由于大氣壓空氣微波等離子體可以在常壓環境下產生，工作氣體易于獲取，從而微波等離子體在納米材料合成、蝕刻、有機廢氣處理、垃圾無害化處理[3]等領域取得了顯著成效。
參考文獻：
